如何檢測(cè)金剛石刀具刃口鋒利度和粗糙度及刀面質(zhì)量？

  刃磨后的金剛石刀具刃口及刀面質(zhì)量將直接影響被加工零件表面質(zhì)量完整性。

  如切削刃鈍圓半徑R過(guò)大，會(huì)增加刀具切入工件的難度、增加切削力、加大表面的變形程度及變形層深度，刃口鋸齒度、刃口和刀面的表面粗糙度、波度都會(huì)復(fù)印到已加工工件表面等。所以，在超精密切削加工中金剛石刀具刃口的鋒利度、刃口及刀面的表面粗糙度、刃口的幾何精度是衡量金剛石刀具質(zhì)量的重要技術(shù)指標(biāo)。

  一般來(lái)說(shuō)，高精度金剛石車刀刃磨指標(biāo)為刃口鈍圓半徑R≤ 0.05μm刃口及刀面表面粗糙度值Ra≤0.01μm或更小，線輪廓度和圓輪廓度不大于0.05μm或更小，因此，選擇合理的金剛石刀具刃口檢測(cè)方法是保證刀具刃磨質(zhì)量的重要手段之一。

  目前國(guó)際上最流行的測(cè)量金剛石刀具切削刃鈍圓半徑的方法是掃描電子顯微鏡法，由于采用該方法之前必須在金剛石表面鍍上一層導(dǎo)電薄膜，故測(cè)量不能反映刀具刃口及刀面的真實(shí)形貌，且當(dāng)?shù)毒呷锌阝g圓半徑R<100nm后，該方法的分辨率明顯不夠，圖像邊緣比較模糊，難以實(shí)現(xiàn)100nm精度內(nèi)的有效測(cè)量。

  國(guó)際上已出現(xiàn)了一些高精度的測(cè)量方法，如日本國(guó)立橫濱大學(xué)提出用SEM檢測(cè)的細(xì)金線壓痕法、美國(guó)Oklahoma大學(xué)提出的直接用原子力顯微鏡測(cè)量金剛石刀具切削刃鈍圓半徑等。

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